制药厂有机废气主要来源于溶媒使用与挥发，合成与发酵过程，物料转移与设备逸散，针对这些有机废气的处理包括预处理阶段，主流处理阶段。
预处理阶段，使用活性炭/沸石吸附浓缩法，适用于大风量、低浓度废气，将废气浓缩为小风量、高浓度气体，便于后续高效处理。洗涤吸收法，利用水或化学溶剂吸收可溶性或酸性/碱性VOCs（如氨、胺类、部分醇类）。
主流处理阶段，使用蓄热式焚烧炉（RTO），将废气加热至760℃以上，使VOCs彻底氧化分解为CO₂和H₂O，净化效率常>99%。其蓄热体高效回收热量，显著降低运行能耗，尤其适合中高浓度、复杂组分废气。催化燃烧（CO/RCO）：，在催化剂作用下，VOCs在较低温度（通常300-400℃）下氧化分解。能耗低于直接焚烧，适用于中浓度废气，但对催化剂性能及废气清洁度（防中毒）要求高。生物法， 利用微生物代谢降解VOCs为无害物质（如生物滴滤塔、生物滤池）。适用于处理水溶性、可生物降解、低浓度、大气量废气（如某些发酵尾气），运行成本低，但占地面积大，对负荷波动敏感。吸附法，活性炭、沸石等吸附剂直接吸附净化低浓度废气。工艺简单，但吸附剂需定期再生或更换，产生二次固废（废活性炭）。
典型工艺路线，常采用组合工艺，如“洗涤（除粉尘/水溶性物）+ 沸石转轮吸附浓缩 + RTO（高效销毁）”或“活性炭吸附（应急/低浓度）+ RTO（主处理）”，后端可增设低温等离子/光催化作为保障。
